1. Saflık
Püskürtme hedefinin saflığı en az yüzde 99,95 olmalıdır. Saflık ne kadar yüksek olursa, püskürtmeli filmin performansı o kadar iyi olur.
2. Yoğunluk
Püskürtme hedefinin bağıl yoğunluğu yüzde 98'den fazla olmalıdır. Daha yüksek yoğunluğa sahip hedef, kaplama işlemi sırasında film parçacıklarının sıçramasını azaltabilir, böylece filmin kalitesini artırabilir.
3. Tane yapısı
Molibden püskürtme hedefi polikristal bir yapıdır. Püskürtme sırasında hedef atomlar, altıgen atomların en yakın düzenlenmiş yönü boyunca kolayca püskürtülür. Maksimum püskürtme hızına ulaşmak için hedefin kristal yapısını değiştirerek püskürtme hızını artırmak gerekir.
4. Tane boyutu
Tane boyutu mikrondan milimetreye kadar değişebilir. İnce grenli hedefin püskürtme hızı, iri grenli hedefinkinden daha hızlıdır ve biriken filmin kalınlık dağılımı da küçük tanecik boyutu farkı olan hedef için nispeten tekbiçimlidir.
5. Hedef ve şasinin bağlanması
Püskürtme işleminden önce, hedef ile şasi arasındaki termal iletkenliğin iyi olduğundan emin olmak için hedef oksijensiz bakır şasiye bağlanmalıdır. Bağlandıktan sonra, yüksek güçlü püskürtme gereksinimlerini karşılamak için ikisinin bağlayıcı olmayan alanının yüzde 2'den az olmasını sağlamak için ultrasonik muayene yapılmalıdır.
