Çin'de vakumlu kaplama makinelerinin gelişimini kısıtlayan birçok faktör vardır, özellikle kaplama makinelerinin buharlaşma kaynaklarının üretiminde kullanılan temel hammadde olan tantal ve tantaldan yapılan parçaların işlenmesi.Tantal ve tantal alaşımlarıyüksek erime noktaları, iyi stabiliteleri ve yüksek sıcaklıklarda düşük buhar basıncı nedeniyle vakum ekipmanında destekleyici aksesuarlar, ısıtıcılar ve ısı kalkanları üretmek için uygundur. Şu anda, birkaç yerli işletme, vakumlu buharlaştırıcılar için tantal parçalarının üretimi ile uğraşmaktadır, bu da vakumlu buharlaştırıcılar için tantal parçalarının ithalatına büyük ölçüde bağımlılığa yol açmaktadır ve Çin'de vakumlu buharlaştırıcılar için tantal parçalarının üretimi ve imalatında birçok zorluk bulunmaktadır.
Dirençli ısıtma genellikle buharlaşma sıcaklığı 1 000~2 000 C olan malzemeler için buharlaşma kaynağı olarak kullanılır. Genel olarak, buharlaşma kaynağı malzemesinin erime noktasının buharlaşmadan yaklaşık 1000 C daha yüksek olması gerekir. çalışma sıcaklığı, denge buhar basıncı düşüktür, yüksek sıcaklıkta soğutmadan sonra kırılganlık küçüktür ve vakum ortamında iyi kimyasal stabiliteye sahiptir. Bu nedenle, tantal vakumlu buharlaştırma için yaygın bir malzemedir.
Tantal, hafif mavi renkli ve yüksek yoğunluklu (16,5) × 103 kg/m3), yüksek erime noktasına (2 996 C), düşük doğrusal genleşme katsayısına (6,5 ile 6,5 arası) sahip açık gri bir metaldir. 0 ve 100 C) × 10-6 K-1), sünek, bakırdan daha sert, ince tel veya folyoya soğuk çekilmiş. Tantalın 300K'da termal iletkenliği 52.1W (m K) -1 ve elastik modülü oda sıcaklığında 192 × 103 MPa'dır.
Ta1'in tantal içeriği yüzde 90,35'ten fazladır; Ta2 yüzde 79,50'den fazla tantal içerir. Bununla birlikte, tantalın saflığı, yaygın vakumlu buharlaştırma kaplaması için yüzde 99,95'ten ve yüksek kaliteli OLED kaplama makineleri için yüzde 99,99'dan fazladır. Açıkçası, mevcut markalar ve standartlar kullanılarak vakumlu kaplama için tantalın temel gereksinimleri karşılanamaz. Yüksek saflıkta tantal üretimi, vakumlu kaplama makineleri için tantal parçalarının lokalizasyonunu kısıtlayan önemli bir faktör haline geldi.
Tantal malzemede diğer metal elementlerin (Fe, Ni, vb. gibi) düşük erime noktası veya yüksek denge buhar basıncı (W gibi) veya düşük stabilite (Ti). Düşük saflıkta tantal malzeme yüksek sıcaklıklarda buharlaştığında, diğer metal elementler ayrışabilir ve buharlaşabilir veya buharlaştırma odasındaki diğer moleküllerle reaksiyona girerek film bileşenlerinin buharlaştırıcı malzeme bileşenlerinden sapmasına neden olabilir. Bu nedenle, yüksek saflıkta tantal parçaların vakumla buharlaştırılması, buharlaşma kaynak malzemesinin kaplamaya olan kirliliğini önemli ölçüde azaltabilir.
